無油真空泵的工作原理主要包含吸氣、壓縮、排氣和重復(fù)四個階段。當電機啟動后，葉輪開始旋轉(zhuǎn)，與泵體內(nèi)的空氣發(fā)生相互作用，將氣體吸入泵體,這是吸氣階段。氣體進入到泵體內(nèi)部，并與旋轉(zhuǎn)的葉輪相互作用，葉輪的旋轉(zhuǎn)會使氣體受到壓縮，從而增加氣體的密度和壓力，這是壓縮階段。在壓縮階段后，葉輪將壓縮的氣體推向排氣口，排氣閥門打開，將氣體排出泵體，達到排氣的目的，這是排氣階段。在排氣階段結(jié)束后，無油真空泵會自動開始下一次循環(huán)， 從而不斷地進行吸氣、壓縮和排氣的過程，直到達到所需的真空度，這是重復(fù)階段。此外，無油真空泵還通過軸向風扇產(chǎn)生高速氣流，將被抽空的空氣吸入泵內(nèi)。在風扇的進氣口處設(shè)置了捕集室，可以捕集大顆粒的固體顆粒和液體，以防止它們進入后續(xù)的泵部件。同時，粗濾器能夠過濾掉較大的顆粒物質(zhì)，以保護風扇和后續(xù)的部件。
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